Chemours.com

高纯度的关键重要性

在关键应用中实现高纯度

氟聚合物在芯片制造中起着重要作用。即使是最微量的杂质或某些元素材料也可能对设备的产量产生显著的影响。科慕精心研制各类树脂产品,旨在保持最高级别的纯度。

科慕会定期分析产品,通过内部和行业检查(包括 ASTMSEMI)来验证其合规性。该分析有助于实现并保持制品表面可萃取离子、金属和总有机碳含量在最低水平。采用 Teflon™ 氟聚合物树脂经过适当生产工艺制造的组件成功用于要求 SEMI F57¹ 和 SEMI C90² 合规性的应用中。

¹SEMI F57:用于超纯水和化学液体输送系统的聚合物材料和组件规范

²SEMI C90:用于测试化学液体输送系统所用的全氟烷氧基乙烯基醚共聚物 (PFA) 材料的测试方法与规范